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直流磁控濺射電源類型不匹配有什么后果?

首頁 新聞中心 行業(yè)新聞 直流磁控濺射電源類型不匹配有什么后果?

直流磁控濺射電源類型不匹配有什么后果?

作者:深圳市英能電氣有限公司

時間:2023-10-24

根據(jù)真空鍍膜工藝的不同,一定要匹配類型合適的真空鍍膜電源??蛻粼谧稍冋婵斟兡る娫磿r聊起一個案例,在直流磁控濺射鍍膜后,品檢時發(fā)現(xiàn)鍍膜后的薄膜上有許多黑色小顆粒,且大部分顆粒是突起的,客戶覺得非常疑惑,基材明明已經(jīng)清洗干凈了,雖然客戶沒有具體說明濺射工藝,比如靶材、電源、氣壓、基體材料等,英能電氣技術同事們根據(jù)以往的經(jīng)驗分析可能有幾方面原因?qū)е?,腔體不干凈帶來的粉塵;靶材不致密造成的膜層疏松、靶材雜質(zhì)、電源類型不匹配等方面的原因;如果是反應濺射,還可能是氧化不徹底等原因引起,所以選擇合適的真空鍍膜電源非常重要。

  深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售為一體的高科技企業(yè),主要產(chǎn)品:中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源,陽極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源,HIPIMS電源等。已獲高新技術企業(yè)、iso9001認證,擁有專利多份。產(chǎn)品已獲得ce、rohs認證。專注提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領域的解決方案。咨詢熱線:137-1700-7958

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