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HIPIMS高功率脈沖磁控濺射電源

HIPIMS高功率脈沖磁控濺射電源
HIPIMS高功率脈沖磁控濺射電源

HIPIMS高功率脈沖磁控濺射電源

應用領域:
  1. 各種科研

  2. 鍍膜新工藝研發(fā)

主要特點 型號參數 應用領域
01

繞射性

繞射性優(yōu)異

02

耐磨

提供抗腐蝕、耐磨損鍍膜

03

現有工藝

方便與現有工藝條件匹配

型號參數

項目型號
HVMS-2HP-500HIPIMS系列電源
輸入電壓三相交流380V ±10%,50~60 Hz
輸出脈沖功率2MW400KW100KW-2000KW可定制
輸出電流10A-1000A10A-500A2A-1000A可定制
工作電壓100V-2000V100V-800V10V-2000V可定制
輸出頻率100Hz~1000Hz
占空比1%-10%
通訊方式RS485、光纖等通訊端口,MODBUS通訊協議
冷卻方式風冷+水冷
尺寸(mm)810(D)×435(W)×280(H)
安全防護過流、過壓、短路、過熱保護,接地保護,漏電保護


應用領域

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